コスト参照マイクロプラズマジェットまたはその他の容量的に結合したRFプラズマで消散した電力を継続的に監視するためのGUI。このプログラムは、オシロスコープに接続し、電流測定と電圧測定値を継続的に取得し、それを使用して電力を計算します。コストジェットの組み込みプローブ、または一般的な商用電流および電圧プローブのいずれかを使用できます。
このプログラムは、電流と電圧の波形を測定するオシロスコープに接続します。これらの測定から、パワーシフトのいずれかを使用して電力が計算されます(
コストジェットデバイスで測定を実行する方法に関するビデオチュートリアルは、ここで見つけることができます(電源測定は3分から始まります)。
参照位相シフトは、「位相シフトを検索」ボタンを押すことで取得されますが、電圧が反応器に適用されますが、プラズマは発火しません。高電圧でより正確な測定値が得られるため、プラズマイグニッションが可能になります。プラズマに点火せずに高加速電圧を容易にするために、ガス組成を調整することができます(たとえば、高量の分子ガスを流したり、イグニッションが不可能な圧力にポンピングしたり)。あるいは、参照位相測定を実行しながら、コンデンサの間でコンデンサで架橋することができます。
参照フェーズが取得された後、必要に応じてメインUIで測定を開始または一時停止できます。測定中にオシロスコープがクラッシュした場合は、測定値を一時停止し、USBケーブルをスコープに引き出して再塗りし、測定を再度開始します。
このプログラムは、コストジェットの電力測定に限定されませんが、上記の方法を使用して電力を計算できるプラズマに使用できます。他のプラズマで測定を実行するには、使用された電圧と電流プローブの減衰が範囲で処理されると仮定して、設定メニューのCalibration factorとMeasurement resistance両方を1に設定する必要があります。そうでない場合は、これらのパラメーターを使用して、プローブの減衰を補うこともできます。
Calibration factor = 1/(電圧プローブ減衰)Eたとえば、Tektronix P6015AのようなX1000プローブの場合、0.001を使用します。Measurement resistance = v/a係数または1/(a/v因子)0.1 v/aのピアソン2878の場合、0.1を使用するだけです。 2 gs/s以上のサンプリングレートを持つ最新の範囲は理論的には機能するはずですが、サポートされていないスコープを使用するには追加のコード調整が必要になる場合があります。現在、次のスコープはソフトウェアを使用して箱から出しています。
私は、ほとんどの最新のTeledyne Lecroyの範囲が箱から出して作業することを期待しています。このリストにない他のメーカーによるスコープの場合、コードの最初のget_scope()関数で小さなコード調整が必要になります。
スコープとの通信は、Python-IVIおよびPython-USBTMCのわずかに変更されたバージョンを使用して、マイナーな修正と微調整を実装するUSBTMCを介して処理されます。 USBTMCを介した通信は、最初にスコープで有効にする必要がある場合があります。 Teledyne Lecroyスコープの場合、オプションはユーティリティ設定メニューにあります。
ソフトウェアで取得した結果を公開するときは、引用を検討してください。
まず、スコープをコンピューターに接続します。次に、Zardig(https://zadig.akeo.ie/)を使用して、正しいデバイスの「libusb-win32」ドライバーをインストールします。その後、リリースに提供された.exeファイルを使用して、コスト電力モニターをインストールできます。アプリケーションを管理者として実行する必要がある場合があります。
最初に「libusb-win32」ドライバーをインストールせずに、プログラムは開始されないことに注意してください。
Ubuntu 18.04および20.04の場合、インストールを見せかけるようにする.debパッケージを提供します。ユーザーがplugdevグループの一部であることを確認するか、ソフトウェアをルートとして実行してください。
sudo cost-power-monitor
他のLinuxディストリビューションについては、マニュアルインストールを使用してください。
まず、Python3のインストールはNeccesaryです。アナコンダは作業するためにカウンです。
次のパッケージが必要です:Scipy、Numpy、Pyusb、Pyqt5、pyqtgraph
すべては、PIPを使用してPYPIからインストールできます。
python pip install scipy numpy pyusb PyQt5 pyqtgraph
さらに、「libusb-win32」ドライバーが必要であり、zadig gui:https://zadig.akeo.ie/を使用してインストールするのが最適です。
プログラムを管理者として実行する必要があるかもしれません。
Python Cost-Power-Monitor.py
Ubuntu 20.04の下に設置を想定します。他のLinux分布も問題なく動作するはずです。
Scipy、numpy、pyusb、pyqt5、pyqtgraph
sudo apt install python3-usb python3-numpy python3-scipy python3-pyqt5 python3-pyqtgraphルート許可なしでプログラムを使用する場合は、udevルールを追加する必要があります:eg /etc/udev/rules.d/12-scope.rulesを編集し、追加します(たとえば、アジレントDSO7104BおよびLecroy Waverunner 8404Mの場合):
# USBTMC instruments
# Agilent MSO7104
SUBSYSTEMS== " usb " , ACTION== " add " , ATTRS{idVendor}== " 0957 " , ATTRS{idProduct}== " 175d " , GROUP= " plugdev " , MODE= " 0660 "
# Teleyne LeCroy WR 8404M
SUBSYSTEMS== " usb " , ACTION== " add " , ATTRS{idVendor}== " 05ff " , ATTRS{idProduct}== " 1023 " , GROUP= " plugdev " , MODE= " 0660 "
# Devices
KERNEL== " usbtmc/* " , MODE= " 0660 " , GROUP= " plugdev "
KERNEL== " usbtmc[0-9]* " , MODE= " 0660 " , GROUP= " plugdev "
LSUSBを使用して、適切なベンダーと製品IDを見つけることができます。
次に、ユーザーをPlugDevグループに追加します。
sudo usermod [username] -ag plugdev
変更が有効になる前に、再起動が必要になる場合があります。
Python3 Cost-Power-Monitor.py
Linuxでは、ターミナルでプログラムを開始するだけです。
cost-power-monitor
Windowsでは、STDERRメッセージは、通常:AppData%にあるログファイルに書き込まれます。
C:Users<username>AppDataRoamingCOST-power-monitor.launch.pyw.log
何か問題が発生した場合、このファイルはデバッグに役立ちます。